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每個半導體人都該知道的超純水設備“干貨”知識

瀏覽次數(shù):969發(fā)布日期:2022-01-18
   在半導體生產(chǎn)過程中,集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求越高,對超純水設備的處理工藝、產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性和可持續(xù)性提出了更嚴格的要求。純水設備采用EDI技術(shù),減少污染,符合綠色環(huán)保工藝生產(chǎn)的特點。與其他類似產(chǎn)品相比,具有更高的成本性能和設備可靠性。因此,每個半導體人都應該知道以下關(guān)于純水設備的知識。
  “超純水”開始使用的目的是什么?
  很久之前,超純水是為了研制超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當?shù)某R界精細技術(shù)生產(chǎn)的水,是一種除了水分子外幾乎無其他雜質(zhì)的水。
  傳統(tǒng)超純水制取工藝有哪些弊端?
  傳統(tǒng)的超純水制取工藝通常采用離子交換樹脂,但需要經(jīng)常進行樹脂再生,既消耗物質(zhì)資源又消耗勞動力。經(jīng)過多年的實踐,采用反滲透加離子交換系統(tǒng)(或EDI)結(jié)合膜分離技術(shù)制取超純水。
  超純水設備組成部分有哪些?
  純水設備采用預處理、反滲透技術(shù)、超純化處理和后級處理等方法,幾乎*去除水中的導電介質(zhì),又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度。超純水系統(tǒng)設備的脫鹽核心部件為反滲透膜組件、EDI系統(tǒng)和拋光混合床。超純水系統(tǒng)設備通常由預處理部分、反滲透主機部分和后處理部分組成。
  超純水設備配備了專業(yè)的濃水置換技術(shù),防止膜系統(tǒng)被微生物污染。通過完善的技術(shù),提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運行成本。我們的目標是成為客戶值得信賴的服務商,為客戶提供不但買得起,還能用得起,更能用得好的環(huán)保解決方案!
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